中科格励微申请用于 MEMS 器件的屏蔽结构及其制备方法专利,提高屏蔽结构性能
金融界 2025 年 4 月 30 日消息,国家知识产权局信息显示,北京中科格励微科技有限公司申请一项名为“用于 MEMS 器件的屏蔽结构及其制备方法”的专利,公开号 CN119873722A,申请日期为 2024 年 12 月。
专利摘要显示,本发明实施例涉及一种用于 MEMS 器件的屏蔽结构及其制备方法,该屏蔽结构包括:第一导电支撑层;器件层,形成于所述第一导电支撑层之上,所述器件层包括 MEMS 器件区域和屏蔽互连区域;器件介质隔离层,形成于所述器件层之上;第二导电支撑层,形成于所述器件介质隔离层之上;屏蔽单元,所述屏蔽单元贯穿所述器件介质隔离层,与所述第一导电支撑层、所述第二导电支撑层和所述屏蔽互连区域连接,形成固定电位结构;所述固定电位结构包围所述 MEMS 器件区域,所述固定电位结构与所述 MEMS 器件区域通过绝缘结构电绝缘。
天眼查资料显示,北京中科格励微科技有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2201.230782万人民币。通过天眼查大数据分析,北京中科格励微科技有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目138次,财产线索方面有商标信息16条,专利信息65条,此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自:金融界
作者:情报员