上海良薇取得半导体尾气处理专利，可实时检测气体纯度并回收

金融界2025年4月26日消息，国家知识产权局信息显示，上海良薇机电工程有限公司取得一项名为“一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统”的专利，授权公告号CN 222785260 U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本实用新型涉及一种半导体尾气处理装置及半导体工艺系统，半导体尾气处理装置包括气体供应模块、纯度分析模块、回收模块、尾气处理模块和尾气排放模块。其优点在于，通过将纯度分析模块与气体供应模块连通并增加回收模块，可实时检测气体供应模块所输送的特殊工艺气体的纯度，若特殊工艺气体的纯度符合标准的情况下，可将特殊工艺气体回收并输送至工艺腔室。

天眼查资料显示，上海良薇机电工程有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事建筑安装业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海良薇机电工程有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息81条，此外企业还拥有行政许可8个。

本文源自：金融界

作者：情报员