增芯科技申请降低压力传感器制造成本专利，降低了压力传感器的制备成本

金融界2025年5月1日消息，国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司申请一项名为“一种降低压力传感器制造成本的方法及压力传感器”的专利，公开号CN119873733A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提供了一种降低压力传感器制造成本的方法及压力传感器，该方法包括：提供第一衬底，包括依次层叠的底硅层、埋氧层和顶硅层。自顶硅层的顶面一侧，在顶硅层的预设区域内形成第一掺杂区和第二掺杂区；在形成第一掺杂区和第二掺杂区后，自底硅层的底面一侧，在底硅层内形成被底硅层的底面所暴露的空腔凹槽，空腔凹槽的槽底露出埋氧层；本发明以形成空腔凹槽的光刻掩膜层为掩膜进行离子注入，以在顶硅层的预设区域内形成阱区，节省了一道光罩，从而降低了压力传感器的制备成本。

天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本682000万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目35次，财产线索方面有商标信息53条，专利信息76条，此外企业还拥有行政许可166个。

本文源自：金融界

作者：情报员