东方晶源微电子申请静电吸盘检测装置及检测方法专利，改善静电吸盘对于晶圆的吸附效果

金融界2025年4月29日消息，国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“静电吸盘检测装置及检测方法”的专利，公开号CN119881494A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本申请公开了一种静电吸盘检测装置及检测方法，静电吸盘检测装置包括固定组件与检测组件，固定组件用于安装待测静电吸盘；检测组件包括机架与探针结构，探针结构沿自身轴向可动地安装于机架以使探针结构与待测静电吸盘部分重合，探针结构被配置为能够检测待测静电吸盘对应位置的电位；其中，探针结构沿自身轴向移动以调整检测半径，固定组件及检测组件中的至少一者围绕待测静电吸盘的中轴线旋转设置以调整检测角度，中轴线与待测静电吸盘所处的平面相交。本申请实施例通过检测静电吸盘表面电场均布程度以改善静电吸盘对于晶圆的吸附效果、提升加工检测精度。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目24次，财产线索方面有商标信息154条，专利信息284条，此外企业还拥有行政许可18个。

本文源自：金融界

作者：情报员