艾华（无锡）半导体申请卧式匀片机及匀片方法专利，可有效避免ALD工艺舟内硅片单片放置的情况

金融界2025年4月29日消息，国家知识产权局信息显示，艾华（无锡）半导体科技有限公司申请一项名为“一种卧式匀片机及匀片方法”的专利，公开号CN119876911A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本发明是一种卧式匀片机及匀片方法，包括：对花篮进行缺片检测，每次对两个相同的花篮一组同时进行检测，根据硅片单面镀膜的工艺要求，若其中任何一个花篮提示缺片异常，则这组两个花篮同时搬运至匀片机的花篮承载平台进行匀片，同时匀片机得到异常花篮的缺片信息，包括缺片数量及缺片位置。本发明的优点：设备结构和方法设计合理，具体的，（1）可有效避免ALD工艺舟内硅片单片放置的情况，无须人工干预，高效、稳定；（2）卧式匀片机花篮倾斜3°角布置，使得花篮内的硅片整齐、有规律的排布，匀片精准、无划伤；（3）匀片机构独立工位运行，不影响整机节拍，可有效提升整机稼动率，提高设备产能。

天眼查资料显示，艾华（无锡）半导体科技有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本7400万人民币。通过天眼查大数据分析，艾华（无锡）半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息7条，专利信息50条，此外企业还拥有行政许可14个。

本文源自：金融界

作者：情报员