上海华力集成电路制造有限公司申请用于侦测研磨垫与研磨盘是否贴合的方法专利,解决现有的无法检测到研磨垫与研磨盘是否紧密贴合的问题
金融界2025年4月23日消息,国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“用于侦测研磨垫与研磨盘是否贴合的方法”的专利,公开号CN119795030A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本发明提供一种用于侦测研磨垫与研磨盘是否贴合的方法,所述方法包括:于进行化学机械研磨的研磨盘内安装压力感应装置,且所述压力感应装置与研磨机台的报警装置相连接,用于侦测研磨垫与研磨盘是否紧密贴合。通过本发明解决了现有的无法检测到研磨垫与研磨盘是否紧密贴合的问题。
天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2060次,专利信息2264条,此外企业还拥有行政许可343个。
本文源自:金融界
作者:情报员